Proyecto de trabajo
ISO/WD 19383
Atomic Layer Deposition-- Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
Reference number
ISO/WD 19383
Edition 1
© ISO 2024
Proyecto de trabajo
En desarrollo
Un grupo de trabajo ha preparado un borrador.

Resumen

This document describes the chemical characteristics and related process specifications of the atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity, and anion content specification.

Informaciones generales

  • Estado
     : En desarrollo
    Etapa
    : Cierre del periodo de observaciones [20.60]
  • Edición
     : 1
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 107
  • RSS actualizaciones

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9
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