Projet de travail
ISO/WD 19383
Titre manque
Numéro de référence
ISO/WD 19383
Edition 1
© ISO 2024
Projet de travail
Projet
Un groupe de travail a préparé un projet.

Résumé

This document describes the chemical characteristics and related process specifications of the atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity, and anion content specification.

Informations générales

  • État actuel
     : Projet
    Stade
    : Clôture de la période des observations [20.60]
  • Edition
     : 1
  • Comité technique :
    ISO/TC 107
  • RSS mises à jour

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9
Industrie, innovation et infrastructure

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