ISO 18115-3:2022
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Résumé
This document defines terms for surface chemical analysis in the area of optical interface analysis including ellipsometry, Raman spectroscopy and nonlinear optical techniques as well as general optical terms.
Informations générales
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État actuel: PubliéeDate de publication: 2022-06Stade: Norme internationale publiée [60.60]
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Edition: 1
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Comité technique :ISO/TC 201/SC 1
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