Reference number
ISO 18115-3:2022
© ISO 2025
International Standard
ISO 18115-3:2022
Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 3: Terms used in optical interface analysis
Edition 1
2022-06
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No disponible en español
Publicado (Edición 1, 2022)

ISO 18115-3:2022

Idioma
Formato
CHF 42
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Resumen

This document defines terms for surface chemical analysis in the area of optical interface analysis including ellipsometry, Raman spectroscopy and nonlinear optical techniques as well as general optical terms.

Informaciones generales

  • Estado
     : Publicado
    Fecha de publicación
     : 2022-06
    Etapa
    : Norma Internacional publicada [60.60]
  • Edición
     : 1
    Número de páginas
     : 35
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 201/SC 1
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