Проект комитета
ISO/CD 4508
Surface chemical analysis--Scanning probe microscopy--Guidelines for the method and procedure for determining the effect of temperature on AFM nano-scale dimension measurements
Ссылочный номер
ISO/CD 4508
Версия 1
© ISO 2024
Проект комитета
В стадии разработки
Проект данного международного стандарта рассматривается комитетом.

Тезис

This International Standard specifies the guidelines of the method and procedure for determining the effect of temperature on atomic force microscope (AFM) nano-scale dimension measurements. The effect of temperature can be evaluated by continuously measuring the changes of the X- and Y- pitches and height of a two-dimensional (2D) calibration grating in an environmental temperature controllable AFM. If necessary, this method and procedure can be used to evaluate the effect of temperature on dimension measurement of other scanning probe microscopes(SPMs).

Общая информация

  • Текущий статус
     : В стадии разработки
    Этап
    : закрытие возможности комментирования [30.60]
  • Версия
     : 1
  • Технический комитет :
    ISO/TC 201/SC 9
  • RSS обновления

Жизненный цикл

Цели в области устойчивого развития

Данный стандарт разработан для достижения следующих Цели в области устойчивого развития

3
Хорошее здоровье и благополучие
9
Индустриализация, инновации и инфраструктура

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

  2. Интернет-магазин
  3. Каталог стандартов
  4. ТК
  5. ISO/TC 201/SC 9
  6. ISO/CD 4508