Projet
Norme internationale
ISO/DIS 23131-3
Ellipsometry — Part 3: Transparent single layer model
Numéro de référence
ISO/DIS 23131-3
Edition 1
Projet Norme internationale
ISO/DIS 23131-3
83903
Projet de Norme internationale au stade enquête auprès des membres de l’ISO.

Résumé

This document uses ellipsometric measurements and their analysis to specify the method for the determination of the layer thickness d of a transparent layer and the optical (refractive index n) or dielectric (real part ε1) constants/functions based on the transparent single layer model within a spectral region, for which k = 0 applies.

Informations générales

  •  : Projet
    : DIS enregistré [40.00]
  •  : 1
  • ISO/TC 107
    17.020 
  • RSS mises à jour

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