Reference number
ISO 13083:2015
ISO 13083:2015
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International Standard
ISO 13083:2015
Surface chemical analysis — Scanning probe microscopy — Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
Edition 1
2015-08
2015-08
ISO 13083:2015
52691
Publiée
(Edition 1, 2015)
Cette publication a été révisée et confirmée pour la dernière fois en 2022.
Cette édition reste donc d’actualité.
Résumé
ISO 13083:2015 describes a method for measuring the spatial (lateral) resolution of scanning capacitance microscopes (SCMs) or scanning spreading resistance microscopes (SSRMs), which are widely used in imaging the distribution of carriers and other electrical properties in semiconductor devices. The method involves the use of a sharp-edged artefact.
Informations générales
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État actuel: PubliéeDate de publication: 2015-08Stade: Norme internationale confirmée [90.93]
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Edition: 1
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Comité technique :ISO/TC 201/SC 9ICS :71.040.40
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