Reference number
ISO 20341:2003
ISO 20341:2003
© ISO 2024
International Standard
ISO 20341:2003
Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
Edition 1
2003-07
2003-07
ISO 20341:2003
34162
Publiée
(Edition 1, 2003)
Cette publication a été révisée et confirmée pour la dernière fois en 2019.
Cette édition reste donc d’actualité.
Résumé
ISO 20341:2003 specifies procedures for estimating three depth resolution parameters, viz the leading-edge decay length, the trailing-edge decay length and the Gaussian broadening, in SIMS depth profiling using multiple delta-layer reference materials.
It is not applicable to delta-layers where the chemical and physical state of the near-surface region, modified by the incident primary ions, is not in the steady state.
Informations générales
-
État actuel: PubliéeDate de publication: 2003-07Stade: Norme internationale confirmée [90.93]
-
Edition: 1
-
Comité technique :ISO/TC 201/SC 6ICS :71.040.40
- RSS mises à jour
Cycle de vie
Vous avez une question?
Consulter notre Aide et assistance
Service à la clientèle
+41 22 749 08 88
Horaires d’ouverture:
De lundi à vendredi - 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)