Reference number
ISO 22278:2020
International Standard
ISO 22278:2020
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam
Edition 1
2020-08
Preview
ISO 22278:2020
73015
No disponible en español
Publicado (Edición 1, 2020)

ISO 22278:2020

ISO 22278:2020
73015
Idioma
Formato
CHF 151
Convertir Franco suizo (CHF) a tu moneda

Resumen

This document specifies the test method for measuring the crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using the XRD method with parallel X-ray beam. This document is applicable to all of the single-crystal thin film (wafer) as bulk or epitaxial layer structure.

Informaciones generales

  •  : Publicado
     : 2020-08
    : Norma Internacional publicada [60.60]
  •  : 1
     : 29
  • ISO/TC 206
    81.060.30 
  • RSS actualizaciones

Ciclo de vida

¿Tiene alguna duda?

Consulte nuestras Ayuda y asistencia