International Standard
ISO/TS 21383:2021
Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements
Reference number
ISO/TS 21383:2021
Edición 1
2021-03
© ISO 2024
International Standard
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No disponible en español
Publicado (Edición 1, 2021)

ISO/TS 21383:2021

Idioma
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Resumen

This document describes methods to qualify the scanning electron microscope with the digital imaging system for quantitative and qualitative SEM measurements by evaluating essential scanning electron microscope performance parameters to maintain the performance after installation of the instruments. The items and evaluating methods of the performance parameters are selected by users for their own purposes.

Informaciones generales

  • Estado
     : Publicado
    Fecha de publicación
     : 2021-03
    Etapa
    : Cierre de la revisión [90.60]
  • Edición
     : 1
    Número de páginas
     : 59
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 202/SC 4
    ICS :
    37.020 
  • RSS actualizaciones

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