International Standard
ISO 13424:2013
Surface chemical analysis — X-ray photoelectron spectroscopy — Reporting of results of thin-film analysis
Reference number
ISO 13424:2013
Edición 1
2013-10
© ISO 2024
International Standard
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No disponible en español
Publicado (Edición 1, 2013)
Esta norma se revisó y confirmó por última vez en 2021. Por lo tanto, esta versión es la actual.

ISO 13424:2013

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Resumen

ISO 13424:2013 specifies the minimum amount of information required in reports of analyses of thin films on a substrate by XPS. These analyses involve measurement of the chemical composition and thickness of homogeneous thin films, and measurement of the chemical composition as a function of depth of inhomogeneous thin films by angle-resolved XPS, XPS sputter-depth profiling, peak-shape analysis, and variable photon energy XPS.

Informaciones generales

  • Estado
     : Publicado
    Fecha de publicación
     : 2013-10
    Etapa
    : Norma Internacional confirmada [90.93]
  • Edición
     : 1
    Número de páginas
     : 46
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 201/SC 7
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS actualizaciones

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